La détection d'entités chimiques et biologiques basée sur des dispositifs à semi-conducteurs a été démontrée grâce à l'utilisation de dispositifs à effet de champ à l'échelle micro et nanométrique et de variantes proches. Bien que les nanotubes de carbone et les nanofils de silicium aient été démontrés comme biocapteurs à molécule unique, les méthodes de fabrication utilisées pour créer ces dispositifs ne sont généralement pas compatibles avec les techniques modernes de fabrication de semi-conducteurs et leur intégration à grande échelle est problématique. Ces lacunes sont comblées par les progrès récents des techniques de fabrication microélectronique qui ont abouti à la réalisation de structures de type nanofil. Nous rapportons ici une méthode permettant de fabriquer des nanofils de silicium à des endroits précis à l’aide de telles techniques. Notre méthode permet la réalisation de capteurs véritablement intégrés capables de produire des réseaux denses.
Revues connexes sur les dispositifs intégrés à l'échelle nanométrique
ACS Nano, Advanced Functional Materials, Journal of Physical Chemistry Letters, Biomaterials, Small, Nano Research
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